為了降低真空腔體的制作成本，采用鑄造鋁合金來(lái)制作腔體也逐漸普及。另外，采用鈦合金來(lái)制作不同用途真空腔體的例子也不少。

           為了減小腔體內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來(lái)獲得平坦的表面。高真空系統(tǒng)的腔體，較多的是利用電解拋光來(lái)進(jìn)行表面處理。