哈氏合金腔體是用哈氏合金材料制成的真空腔體，是為減少半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點有改善的機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應(yīng)，抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。