常見(jiàn)的真空腔體加工的檢漏方法

         真空腔體加工檢漏的方法主要有三種，其中氦質(zhì)譜檢漏是真空檢漏領(lǐng)域里不可少的一種技能，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中得到了較多應(yīng)用。