真空腔體是一種保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。反應(yīng)釜的制作需要考慮到容積、材質(zhì)和形狀。不銹鋼是高真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無(wú)磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低等優(yōu)點(diǎn)，在反應(yīng)釜的制作中應(yīng)用廣泛。近年來(lái)，鑄造鋁合金也逐漸被用于制作。另外，鈦合金也被用于制作特殊用途的真空反應(yīng)釜。

       在真空腔體的制作過(guò)程中，表面處理方式包括噴丸、噴砂和機(jī)械拋光。

       噴丸是一種采用高速?zèng)_擊將工件表面植入殘余壓應(yīng)力的冷加工工藝，可提升工件的強(qiáng)度。

       噴砂是利用壓縮空氣將高速噴射束將噴料高速噴射到工件表面，清理和粗化基體表面的過(guò)程，使工件表面的外表面的外表或形狀發(fā)生變化。

       真空腔體的機(jī)械拋光是靠切削、材料表面塑性變形去掉被拋光后的凸部而得到平滑面的拋光方法，一般使用油石條、羊毛輪、砂紙等，以手工操作為主，特殊零件如回轉(zhuǎn)體表面，可使用轉(zhuǎn)臺(tái)等輔助工具。